微纳米制造技术及应用

“十二五”国家重点图书出版规划项目21世纪先进制造技术丛书微纳米制造技术及应用张德远蒋永刚陈华伟秦威等编著北京内容简介本书介绍了微纳米制造领域涉及的各类加工技术及其应用特点。全书共7章：第1章介绍了微纳制造技术的应用和分类；第2章介绍了微细机械加工和基于高能束的微细加工技术；第3章阐述了各类表面成膜与改性技术；第4章介绍了光刻、刻蚀、键合封装等半导体加工工艺；第5章介绍了微纳压印加工的各种方法；第6章阐述了各种纳米结构自组装成形技术；第7章介绍了生物去除加工、生物约束成形、生物复制成形等新型微纳加工方法。