微电子机械微波通讯信号检测集成系统

本书共分为12章，从第1章共性的设计理论和实现方法出发，对MEMS微波器件进行了一系列设计、实验和系统级S参数模型的研究。这些器件包括：第2章的一分为二微波功分器，第3章的间接加热热电式功率传感器，第4章的直接加热热电式功率传感器，第5章的电容式功率传感器，第6章的电容式和热电式级联功率传感器，以及集成MEMS系统，第7章的在线电容耦合式微波功率检测器，第8章的在线定向耦合式毫米波功率检测器，第9章微波相位检测器和第10章微波频率检测器，第11章分别对微波功率、相位和频率检测器进行了封装研究；*后，第12章进行了总结和展望。由于集成的MEMS相位检测器和集成的MEMS频率检测器研究都是基于MEMS微波功率传感器技术，因此，本书用较大篇幅来诠释MEMS微波功率传感器及其集成的微波功率检测器的研究。鉴于本书所涵盖的学术成果在本专业国际上的重要**学术期刊，以及国际重要学术会议上已发表，同时，书中所提出的结构新颖，创新性突出，已获得中华人民共和国国家发明专利授权，应用价值高。