真空设备选型与采购指南

本书是了解市场，掌握行情的指导性工具书，主要介绍真空泵、真空计、真空阀门、真空系统，各种真空应用设备和真空设备用油的选型与采购方法。本书介绍的真空设备内容齐全，通俗易懂，便于学习；附录所列真空设备的生产厂家齐全，联系地址翔实。本书可供使用真空设备的企业和技术人员查阅，也可为采购真空设备的人员提供方便。

1 真空泵的选型技术1
1?1真空泵的选型原则和性能表示法1
1?2真空泵的类型及其工作压力范围3
1?2?1气体输送泵3
1?2?2气体捕集泵5
1?2?3各种真空泵的使用范围5
1?3真空泵的技术术语及规格型号表示法5
1?3?1真空泵的技术术语5
1?3?2真空泵的型号及规格表示法6
1?4真空泵的用途及适用的工艺类型7
1?4?1真空泵的用途7
1?4?2各类真空泵适用的工艺类型7
1?5水环真空泵的选型技术8
1?5?1水环泵的工作原理及特点8
1?5?2水环泵的基本类型与结构10
1?5?3水环泵的基本型式与参数12
1?5?4水（液）环泵的使用与注意事项13
1?5?5水（液）环泵的常见故障及消除方法15
1?6往复式真空泵的选型技术16
1?6?1往复泵的工作原理17
1?6?2往复泵的几种主要结构18
1?6?3往复泵的主要性能指标19
1?6?4往复泵的使用与维护19
1?7旋片式真空泵的选型技术20
1?7?1旋片泵的工作原理21
1?7?2旋片泵的结构特点21
1?7?3选用旋片泵的注意事项24
1?7?4旋片泵的运行与维护25
1?8滑阀式真空泵的选型技术29
1?8?1滑阀泵的工作原理29
1?8?2滑阀泵的结构特点30
1?8?3滑阀泵的选型32
1?8?4滑阀真空泵常见故障及其排除32
1?9罗茨真空泵的选型技术34
1?9?1罗茨泵的工作原理34
1?9?2罗茨泵的结构特点35
1?9?3罗茨泵的参数选择37
1?9?4罗茨泵的常见故障及解决办法44
1?10分子真空泵的选型技术47
1?10?1分子真空泵的发展概况47
1?10?2牵引分子泵的抽气原理与结构特点48
1?10?3涡轮分子泵的抽气原理及结构特点48
1?10?4分子真空泵选型须知49
1?11干式（无油）真空泵的选型技术50
1?11?1干式真空泵的选型须知50
1?11?2旋片型干式真空泵52
1?11?3爪型干式真空泵53
1?11?4涡旋干式真空泵57
1?11?5螺杆型干式真空泵62
1?12水喷射真空泵的选型技术64
1?12?1水喷射泵的主要用途65
1?12?2水喷射泵的工作原理65
1?12?3水喷射泵的主要结构型式66
1?12?4水喷射真空泵的选型方法67
1?12?5水喷射泵常见故障及排除方法70
1?13蒸汽喷射泵的选型技术71
1?13?1蒸汽喷射泵的工作原理71
1?13?2蒸汽喷射泵的结构与组成72
1?13?3蒸汽喷射泵的选型方法75
1?13?4水蒸气喷射泵的常见故障及其排除方法78
1?14扩散泵的选型技术81
1?14?1扩散泵的抽气过程81
1?14?2油扩散泵的结构82
1?14?3油扩散泵的选型方法84
1?14?4油扩散泵的使用与维护86
1?15油扩散喷射真空泵的选型技术88
1?15?1油扩散喷射泵的工作原理88
1?15?2油扩散喷射泵的结构89
1?15?3油扩散喷射泵的选型方法89
1?15?4油增压泵的使用与维护91
1?16低温泵的选型技术92
1?16?1低温泵的抽气原理和分类92
1?16?2低温泵的总体布置93
1?16?3低温泵的选型方法95
1?17溅射离子泵的选型技术96
1?17?1溅射离子泵的结构与泵内的物理过程96
1?17?2溅射离子泵的抽气机理97
1?17?3溅射离子泵的选择98
1?18其他类型真空泵的选型技术99
1?18?1分子筛吸附泵的选择99
1?18?2钛升华泵的选型103
1?18?3电离升华泵的选型104
1?18?4非蒸散型吸气泵的选型105
2 真空计选型技术109
2?1概述109
2?1?1真空、真空度概念109
2?1?2真空区域划分及其物理特点110
2?1?3真空计及测量范围112
2?1?4真空测量特点112
2?1?5真空计选型原则113
2?2常用真空计性能参数114
2?2?1U型管真空计114
2?2?2压缩式真空计117
2?2?3弹簧式真空计120
2?2?4电阻真空计124
2?2?5热偶真空计132
2?2?6热阴极电离真空计135
2?2?7冷阴极电离真空计142
2?2?8复合式真空计149
2?2?9B?A式超高真空电离计154
2?2?10极高真空测量仪器159
2?2?11MFC用途和特点171
2?2?12国内外MFC发展状况介绍172
2?2?13国内新产品发展情况172
2?2?14MFC在真空设备中的典型应用
和注意事项1723 真空阀门选型技术174
3?1概述174
3?1?1真空阀门的用途174
3?1?2真空阀门的基本要求174
3?1?3真空阀门分类和型号编制方法175
3?1?4真空阀门选型原则176
3?2各类真空阀门结构型式、性能参数178
3?2?1真空插板阀178
3?2?2高真空挡板阀186
3?2?3高真空蝶阀191
3?2?4真空翻板阀198
3?2?5电磁真空阀201
3?2?6真空球阀208
3?2?7真空隔膜阀212
3?2?8真空微调阀214
3?2?9真空放气阀216
3?3典型真空阀门结构型式220
3?3?1低真空三通阀220
3?3?2低真空管道阀224
3?3?3高真空翻板阀224
3?3?4超高真空角阀227
3?3?5超高真空三通阀229
3?3?6超高真空管道阀229
3?3?7超高真空针阀230
3?4真空阀门技术要求及性能测试230
3?4?1技术要求230
3?4?2真空阀门漏气速率（简称漏率）
的测试230
3?4?3真空阀流导的测试233
3?4?4真空阀门寿命的测试234
3?4?5真空阀门开闭时间的测试234
4 真空系统选型技术235
4?1真空系统的主要参数选择235
4?1?1真空室（容器）的极限压力235
4?1?2真空室的工作压力235
4?1?3真空室抽气口处泵的有效抽速236
4?2抽气时间的计算237
4?2?1粗真空、低真空下抽气时间计算237
4?2?2高真空下抽气时间计算240
4?2?3真空室压力下降时抽气时间的计算242
4?3真空室出气对真空系统计算的影响242
4?3?1局部出气对计算的影响242
4?3?2均匀出气条件下细长真空室内压力分布243
4?4选泵与配泵244
4?4?1主泵选择244
4?4?2前级泵的选配244
4?4?3粗抽泵抽速的确定246
4?5真空机组的选型246
4?5?1真空机组的构成与分类246
4?5?2低真空机组246
4?5?3高真空机组250
4?5?4超高真空机组252
4?6液环泵真空机组的选型253
4?6?1蒸气喷射泵?液环泵真空机组253
4?6?2罗茨液环泵机组256
4?6?3罗茨泵?气体喷射器?液环泵机组258
4?7罗茨真空泵机组的选型258
4?7?1罗茨泵机组的型式与基本参数258
4?7?2国产罗茨泵机组的技术性能261
4?7?3罗茨真空泵机组的选型方法273
4?8扩散泵抽气机组的选型279
4?8?1国产扩散泵机组的基本参数279
4?8?2扩散泵机组的选型方法287
4?8?3干式真空泵机组的选型288
4?9超高真空机组的选型290
4?9?1超高真空系统简介290
4?9?2超高真空系统应用实例291
5 真空冶炼设备选型技术295
5?1真空感应炉设备选型技术295
5?1?1概述295
5?1?2真空感应炉的工作原理295
5?1?3真空感应炉的典型结构及分类297
5?1?4真空感应熔炼的独特功能及其工艺优异性299
5?1?5真空感应炉的熔炼主电源301
5?1?6真空感应炉的选型技术条件303
5?2真空电子轰击炉选型技术305
5?2?1概述305
5?2?2真空电子轰击炉的特点306
5?2?3电子束流轰击物料（靶）时产生的现象306
5?2?4真空电子轰击炉的电子束加热原理307
5?2?5电子束流在电场作用下的能量307
5?2?6电子束流轰击物料满足熔炼的热平衡条件308
5?2?7真空电子轰击炉的主要构成309
5?2?8真空电子轰击炉选型技术依据317
5?3真空电弧炉选型技术318
5?3?1概述318
5?3?2真空电弧炉种类及其应用319
5?3?3真空中弧光放电及其性质321
5?3?4真空电弧炉、凝壳炉结构构成及其设计和计算322
5?3?5真空系统334
5?3?6真空电弧炉、凝壳炉的电源电气控制334
5?3?7真空电弧炉、凝壳炉选型技术条件344
6 真空热处理设备选型技术349
6?1真空热处理的一般原理349
6?1?1真空热处理的作用349
6?1?2真空热处理的特点351
6?1?3真空热处理的一般操作及工艺过程352
6?1?4影响真空热处理的工艺参数355
6?2真空热处理炉的结构357
6?2?1真空热处理炉的分类359
6?2?2真空热处理炉的结构360
6?3真空热处理设备的设计367
6?4真空热处理炉的典型结构及应用368
6?4?1真空正压气淬和油淬炉的典型结构368
6?4?2真空正压气淬的典型应用371
6?4?3真空油淬的典型工艺372
6?4?4真空回火炉的典型结构及应用374
6?4?5真空渗碳炉及其应用374
6?4?6真空热处理设备的选型376
7 真空干燥设备选型技术379
7?1真空干燥设备的种类379
7?2真空干燥设备的应用380
7?2?1普通真空干燥设备的应用380
7?2?2冷冻真空干燥设备的应用382
7?3真空干燥设备的选择方法388
7?3?1根据物料的性质选择真空干燥设备388
7?3?2根据产品质量选择真空干燥设备388
7?3?3真空干燥设备性能的选择388
7?3?4真空冷冻干燥设备的选择389
7?3?5真空干燥设备的效率390
7?4几种普通真空干燥设备的选型技术390
7?4?1双锥回转真空干燥设备的选型390
7?4?2微波真空干燥设备的选型393
7?4?3带式真空干燥设备的选型397
7?4?4耙式真空干燥设备的选型403
7?4?5圆盘刮板真空干燥设备的选型407
7?4?6转鼓真空干燥设备的选型412
7?4?7圆筒搅拌式真空干燥设备的选型415
7?4?8振动流动真空干燥设备的选型418
7?5冷冻真空干燥设备选型技术422
7?5?1冷冻真空干燥设备类型的选择422
7?5?2冷冻真空干燥设备性能的选择423
7?5?3实验小型冻干机的选用423
7?5?4医药用冻干机的选用424
7?5?5食品用冷冻真空干燥设备的选型427
7?5?6微波冷冻真空干燥设备的选型429
8 真空压力浸渍设备的选型技术431
8?1VPI技术的基本原理431
8?2VPI设备的构成432
8?2?1真空干燥炉432
8?2?2浸渍罐432
8?2?3储漆罐432
8?2?4真空系统与充气系统433
8?2?5制冷系统与加热系统433
8?3可供选择的几种典型VPI设备433
8?4浸渍罐与储漆罐的结构选择435
8?4?1浸渍罐的结构选择435
8?4?2储漆罐的结构选择435
8?5制冷系统与液压系统的选择439
8?5?1制冷系统的选择439
8?5?2液压系统的选择440
8?6加热和输漆系统的选择440
8?6?1瑞士Micafil公司的储漆加热、冷却及输漆过滤系统440
8?6?2美国W?H公司输漆加热系统441
8?6?3电加热器442
8?7VPI设备的使用与维护442
9 真空镀膜设备选型技术444
9?1概述444
9?1?1真空镀膜技术及其特点444
9?1?2真空镀膜技术的应用444
9?1?3真空镀膜技术的分类445
9?2蒸发镀膜447
9?2?1蒸发镀膜原理447
9?2?2蒸发镀膜设备的结构454
9?2?3蒸发镀膜的应用466
9?2?4蒸发镀膜设备选型注意事项470
9?3溅射镀膜470
9?3?1溅射镀膜基本原理470
9?3?2溅射镀膜的方式473
9?3?3溅射镀膜的实例499
9?3?4溅射镀膜机的选型501
9?4离子镀膜508
9?4?1离子镀膜原理508
9?4?2离子镀膜装置521
9?4?3离子镀膜的应用535
9?5CVD镀膜540
9?5?1CVD镀膜原理540
9?5?2CVD镀膜方法、类型及应用542
9?5?3CVD设备的选型常识552
10 真空钎焊设备选型技术557
10?1真空钎焊概述557
10?1?1真空钎焊的发展概况557
10?1?2钎焊的定义和方法557
10?1?3真空钎焊技术的特点558
10?1?4真空钎焊技术的应用558
10?2真空在钎焊过程中的作用559
10?2?1保护作用559
10?2?2除气作用559
10?2?3净化作用560
10?2?4蒸发作用560
10?3真空钎焊工艺561
10?3?1钎焊前的工件表面处理561
10?3?2工件的组装和定位561
10?3?3焊料装填561
10?3?4工艺参数的选择561
10?3?5影响钎焊质量的因素564
10?3?6钎焊质量的验收方法565
10?3?7无损检验565
10?3?8破坏性检验565
10?3?9工况模拟试验565
10?4真空钎焊设备565
10?4?1真空钎焊工艺对真空炉的要求565
10?4?2真空钎焊炉的分类566
10?4?3热壁真空钎焊炉566
10?4?4冷壁真空钎焊炉567
10?4?5真空钎焊设备的组成569
10?4?6真空钎焊设备选型原则570
10?4?7国内真空钎焊炉的现状及主要性能参数570
10?5真空钎焊炉的性能试验与验收571
10?5?1真空钎焊炉的主要技术指标571
10?5?2真空钎焊炉的基本技术要求571
10?5?3真空钎焊炉性能试验的方法572
10?5?4真空钎焊炉的验收574
11 真空蒸馏设备选型技术576
11?1概述576
11?2减压蒸馏装置576
11?3间歇式蒸馏装置576
11?3?1蒸馏罐576
11?3?2冷凝器577
11?3?3阱578
11?3?4蒸馏釜578
11?4半连续蒸馏装置581
11?5连续蒸馏装置582
11?6连续精馏装置583
11?6?1板式精馏塔583
11?6?2填料塔585
11?6?3薄膜塔585
11?6?4旋转塔585
11?7分子蒸馏装置586
11?7?1分子蒸馏装置587
11?7?2分子精馏设备588
11?7?3各种分子蒸馏设备的主要特征589
12 真空包装设备选型技术590
12?1真空包装原理与包装机分类590
12?2机械挤压式真空包装机590
12?3插管式真空包装机590
12?4腔室式真空包装机591
12?5输送带式真空包装机591
12?6热成型真空包装机593
12?7蓬松柔软物品缩体包装机593
12?8回转真空室式包装机594
12?9充气真空包装机595
12?10真空包装机的选型597
13 真空输送设备选型技术608
13?1真空输送原理及应用608
13?1?1真空输送原理608
13?1?2真空输送的应用608
13?1?3真空输送的特点609
13?2粉粒状物料真空吸送设备及选择610
13?2?1真空吸送系统的构成610
13?2?2氧化锌粉真空吸送设备611
13?2?3粮食真空输送设备613
13?2?4炭黑真空输送系统615
13?2?5药品真空输送设备618
13?2?6SW/VR系列节能气力驱动型真空输送设备619
13?2?7无菌真空输送机620
13?2?8粉煤灰真空输送与分选一体化系统620
13?2?9粉粒装物料真空吸送设备的选择622
13?3液态物料的真空输送装置622
13?3?1水库防汛无动力真空虹吸溢洪装置622
13?3?2真空高速流装置623
13?4固态物料的真空吸吊装置及选择627
13?4?1基本原理627
13?4?2特点627
13?4?3门式真空吸吊机628
13?4?4VacuPowerLift系列真空吊具628
13?4?5AutomacVLG系列真空吊具629
13?4?6真空搬运装置630
13?4?7真空起重机630
13?5垃圾灰尘清理设备及选型631
13?5?1HV系列工业吸尘器631
13?5?2VW3600?9气力吸排车632
13?5?3UV吸尘车系列633
13?5?4T3000?8吸尘车(new)633
13?5?5UV工作站系列633
13?5?6集疏通清理/真空抽吸一体化的清污车633
13?5?7RV系列637
13?5?8截料斗与截料车637
13?5?9管网、吸嘴等附件的选择637
13?6真空吸鱼泵639
13?6?1吸鱼泵种类及特点639
13?6?2PV?500型活鱼吸取泵640
13?6?3射流式吸鱼泵640
13?6?4网箱真空活鱼起捕机和真空吸鱼泵640
14 真空过滤设备选型技术642
14?1真空过滤设备简介642
14?1?1真空过滤设备的工作原理642
14?1?2真空过滤机的特点643
14?1?3真空过滤机的分类643
14?2转鼓式真空过滤机644
14?2?1刮刀卸料式转鼓真空过滤机644
14?2?2滤布行走式转鼓真空过滤机646
14?3圆盘式真空过滤机647
14?3?1结构与原理647
14?3?2发展趋势648
14?3?3特征及用途649
14?3?4陶瓷圆盘真空过滤机649
14?4带式真空过滤机650
14?4?1固定室型真空带式过滤机651
14?4?2移动室型带式真空过滤机652
14?4?3滤带间歇运动型真空带式过滤机652
14?4?4连续移动盘带式真空过滤机653
14?5真空过滤机的选型655
14?5?1选型的依据655
14?5?2选型的基本原则656
15 真空绝热设备选型技术658
15?1真空低温容器选型658
15?1?1概述658
15?1?2我国真空低温容器的发展和应用658
15?1?3真空低温容器的分类661
15?1?4低温容器典型结构介绍665
15?1?5低温容器选择要点675
15?1?6低温容器的特性677
15?1?7真空低温容器的选择原则678
15?2真空玻璃680
15?2?1真空玻璃概述680
15?2?2真空玻璃的制造工艺680
15?2?3真空玻璃的性能681
15?2?4真空玻璃的隔热原理684
15?2?5真空玻璃中的应力686
15?2?6真空玻璃的除气与抽空687
15?2?7选用真空玻璃的注意事项688
16 真空设备用油的选型技术691
16?1真空泵油691
16?1?1真空泵油的性能691
16?1?2真空泵油的分类693
16?1?3真空泵油的质量标准695
16?1?4国外真空泵油质量标准698
16?1?5真空泵油的选用699
16?1?6真空泵油的使用事项及换油期限703
16?2油蒸气流泵油705
16?2?1增压泵油705
16?2?2惠丰HFV?Z增压泵油706
16?3油蒸气流泵（扩散泵）707
16?3?1矿物油型扩散泵油的选用707
16?3?2合成油型扩散泵油708
16?3?3扩散泵油的使用注意事项708
16?4真空密封油709
16?4?1真空密封油的特性709
16?4?2真空密封油的用途709
16?4?3真空密封油的质量标准710
16?5真空淬火油710
16?5?1真空淬火油的特性710
16?5?2真空淬火油的用途710
16?5?3真空淬火油的质量指标710
16?5?4真空油淬时注意的几个问题711
16?6真空密封脂711
16?6?1真空密封脂的特性711
16?6?2真空密封脂的用途711
16?6?3真空密封脂的质量指标712
16?7分子泵油712
16?7?1分子泵油的特性712
16?7?2分子泵油的用途712
16?7?3分子泵油的质量指标712
16?7?4分子泵油的更换和维护713
16?8真空用润滑油（脂）技术问答713
参考文献719
附录企业名录721
北京市721
天津市727
重庆市728
河北省728
河南省729
宁夏回族自治区730
山西省730
吉林省730
贵州省730
云南省730
湖北省730
湖南省731
江西省732
四川省732
陕西省734
广东省735
江苏省744
浙江省750
福建省758
安徽省758
山东省758
辽宁省763
上海市768
甘肃省775
外资企业776

“真空设备选型与采购指南”于2008年集结成册后，深受广大读者欢迎，现在还不断接到读者的咨询，希望能够正式出版。为满足读者的需要，根据实际情况，按照真空行业提供的线索，真空设备生产企业的申报，补充了新内容。
真空设备用途广泛，在国民经济发展中起到了重要的作用。国民经济的许多行业中都离不开真空技术与设备，宇宙航天事业、冶金工业、机械工业、石油化工行业、医药卫生行业、轻工食品行业、农副渔业产品的深加工等领域都离不开真空技术与设备。但是，许多行业在真空设备的选型与采购过程中遇到了很多难题，有些单位走了弯路，有些单位选择了不合适的设备，也有的单位选择了不理想的设备。除了应用真空设备的采购人员对真空设备的性能不清楚之外，还不了解真空设备的生产厂家，尤其是网络世界发达的现代，各个厂家都在网上宣传自己，使采购人员眼花缭乱，难辨虚实。为此，编写本书，供使用真空设备的厂家在设备选型和采购过程中参考。选型和采购的原则应该是选择适合本单位工艺需要的、合适的真空设备，而不是性能指标越高越好，更不是价格便宜就好。
《真空设备选型与采购指南》是了解市场、掌握行情的指导性工具书，书中较全面地介绍了真空产品的性能、结构、特点、使用与维护方法；帮助真空行业厂家宣传产品，防止假冒产品流入市场坑害正规企业；引导使用真空产品的用户，正确选用适合自己的真空产品，节约采购成本，确保采购产品的质量。
本书共分为16章。包括真空泵、真空测量仪表、真空阀门、真空系统、真空冶炼设备、真空热处理设备、真空镀膜设备、真空干燥设备、真空蒸馏设备、真空输送设备等的选型方法，并给出识别真空设备性能的标准。附录为真空企业名录。将能联系到的生产真空设备的厂家，不分大小，按其所在省份，给出地址、邮编、电话和联系人，给真空设备采购人员提供方便。
本书在编写过程中得到许多真空界朋友的帮助，张华、赵悦呈、李铁参加了附录部分的工作，在此一并感谢。
书中不妥之处，还请读者指正。

编者
2013?3