描述
开 本: 16开纸 张: 胶版纸包 装: 平装是否套装: 否国际标准书号ISBN: 9787122156228
本书主要讲述了改良西门子法生产多晶硅的制备原理及生产过程。内容包括三氯氢硅的合成、精馏提纯；三氯氢硅氢还原制备高纯硅、尾气干法回收、硅芯的制备等核心内容，同时对气体的制备与净化、四氯化硅的综合利用与处理、纯水的制备、硅烷法制备高纯硅做了详细介绍。本书紧密结合生产实践，注重了理论与实践的有机结合。
本书可作为本科和高职院校太阳能光伏产业硅材料专业教材，同时也可作为中专、技校和从事多晶硅生产的企业员工的培训教材，还可供相关专业工程技术人员学习参考。
绪论1
0·1改良西门子法生产多晶硅1
0·2其他多晶硅生产方法4
项目一气体的制备与净化6
任务一气体的制备6
任务二气体净化18
小结27
习题和思考题27
项目二三氯氢硅的合成28
任务一液氯汽化28
任务二氯化氢的合成36
任务三三氯氢硅的合成43
小结61
习题和思考题62
项目三三氯氢硅精馏提纯64
任务一精馏提纯原理及相关计算64
任务二精馏提纯设备89
任务三精馏提纯工艺96
任务四精馏提纯操作98
任务五设备、管道的检修113
任务六故障处理115
任务七三氯氢硅中杂质含量
的分析120
小结121
习题和思考题122
项目四三氯氢硅氢还原制备
高纯硅123任务一三氯氢硅氢还原工作
原理123
任务二三氯氢硅氢还原工艺、核心
设备结构及操作128
任务三设备、管道保养与维护143
任务四还原工序常见故障判断
与处理148
任务五三氯氢硅氢还原工序产品
质量要求及控制151
任务六还原生产中热能的
综合利用155
任务七高纯材料及半导体
相关知识156
小结160
习题和思考题160
项目五尾气干法回收162
任务一还原尾气干法回收的
基本原理163
任务二还原尾气干法回收工艺
流程167
任务三尾气干法回收主要设备168
任务四设备准备及安全检查176
任务五尾气干法回收原辅材料
准备179
任务六尾气干法回收关键及核心
设备操作180
任务七尾气回收故障处理184
任务八设备、管道保养与维护185
小结192
习题和思考题192
项目六四氯化硅的综合利用
与处理193任务一四氯化硅的性质193
任务二四氯化硅氢化回收195
任务三四氯化硅处理的其他技术198
小结201
习题和思考题201
项目七硅芯的制备与腐蚀202
任务一硅芯的制备203
任务二硅芯腐蚀208
小结209
习题和思考题210
项目八纯水的制备211
任务一纯水制备原理211
任务二纯水制备工艺流程214
任务三纯水制备系统主要设备
及工作原理215
任务四纯水制备系统操作222
任务五纯水的测量228
任务六其他纯水制备法及流程230
小结233
注释233
习题和思考题234
项目九硅烷法制备高纯硅235
任务一硅烷的性质235
任务二原料的制取及处理236
任务三硅烷的发生241
任务四硅烷的提纯246
任务五硅烷热分解制备多晶硅248
小结251
习题和思考题251
参考文献252
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