射频等离子体物理学

从微电子工业到航天器推进系统乃至高效光源，低温射频等离子体在各种前沿技术中扮演着重要的角色，而且它是物理学、化学及工程学之间相互交叉的一个学科。本书主要聚焦在物理学方面，所以主要适用于应用物理及电子工程专业的研究生及科研人员。本书不仅对射频等离子体的前沿进展进行综述，同时也包括一些等离子体物理基础知识，如有界等离子体的输运及电学诊断。本书的风格有助于激发读者学习的兴趣，帮助读者建立物理图像和数学分析方法。通过实例分析，将理论应用到实际问题中，并留有超过100道的简答题，让读者能够快速掌握新知识，有信心解决与实验相关的物理问题。