多晶硅和石英玻璃的联合制备法

本书所介绍的多晶硅和石英玻璃的联合制备法是一种综合的生产方法，它是利用制备多晶硅所产生的尾气来制备石英玻璃，这样不仅可以减少排放的废气，而且生产是连续的，设备是串联的，热能可以得到充分利用，因此这种制备方法既节能又环保。与传统的单项生产法相比，这种制备方法设备和厂房少，可以大幅度地减少基本建设投资；生产时，可减轻操作人员的劳动强度，使本来当成废物排放的尾气得到综合利用，从而可以降低生产成本。这种方法的优点还不仅如此，与氯碱工业联合还可以形成一种生产上的循环，不仅可以节约资源，而且还可以帮助解决氯碱的平衡问题和污染问题。 

本书以传统的多晶硅和石英玻璃的生产方法为基础，介绍了多晶硅和石英玻璃联合制备法的工艺过程、主要设备、操作要点及影响产品质量的因素，提出了降低多晶硅生产成本的几个途径，并总结了相关安全生产的知识。内容紧密结合生产操作实际，阐述由浅入深，通俗易懂，知识丰富，实用性强。
　　本书可供从事多晶硅和石英玻璃生产的技术人员和管理人员阅读，也可供有关院校材料专业和冶金专业师生参考。

1 概述
　1.1 传统生产方法简介
　　1.1.1 多晶硅的传统生产方法简介
　　1.1.2 石英玻璃的传统生产方法简介
　1.2 多晶硅和石英玻璃的联合制备法简介
　1.3 多晶硅和石英玻璃联合制备法的优点
　　1.3.1 节约能源
　　1.3.2 环境保护
　　1.3.3 设备费用少
　　1.3.4 基建投资少
　　1.3.5 与氯碱工业联合对平衡问题和污染问题的解决
　　1.3.6 电子工业材料——多晶硅瓶颈问题的解决
2 主要产品
　2.1 多晶硅
　　2.1.1 多晶硅的基本概念
　　2.1.2 多晶硅的主要用途
　2.2 石英玻璃
　　2.2.1 石英玻璃的基本概念
　　2.2.2 石英玻璃的品种
　　2.2.3 石英玻璃的主要用途
　　2.2.4 石英玻璃的析晶问题
3 纯度
　3.1 纯度的概念
　　3.1.1 纯度概念的起源
　　3.1.2 纯度概念的发展
　3.2 纯度的表示方法
　　3.2.1 用百分比含量表示
　　3.2.2 用硼含量表示
　　3.2.3 用电阻率推算
　　3.2.4 用其他方法推算
　3.3 对主要产品及主要原料的纯度要求
　　3.3.1 四氯化硅和三氯氢硅的纯度要求
　　3.3.2 多晶硅的纯度要求
　　3.3.3 石英玻璃的纯度要求
4 基本原料
　4.1 硅
　　4.1.1 硅的基本特性和用途
　　4.1.2 工业硅的生产方法
　　4.1.3 工业硅的质量标准
　4.2 氢气
　　4.2.1 氢气的特性
　　4.2.2 氢气的用途
　　4.2.3 氢气的制备方法
　4.3 氧气
　　4.3.1 氧气的特性
　　4.3.2 氧气的用途
　　4.3.3 氧气的制备方法
　4.4 氯气
　　4.4.1 氯气的特性
　　4.4.2 氯气的用途
　　4.4.3 氯气的制备方法
　4.5 氯化氢
　　4.5.1 氯化氢的特性
　　4.5.2 氯化氢的用途
　　4.5.3 氯化氢的制备方法
　4.6 氮气
　　4.6.1 氮气的特性
　　4.6.2 氮气的用途
　　4.6.3 氮气的制备方法
5 中间产品
6 化学提纯法简介
7 多晶硅的传统制备方法
8 石英玻璃的传统制备方法
9 多晶硅和石英玻璃的联合制备法
10 主要设备
11 工艺操作要点及影响产品质量的因素
12 安全生产
13 降低多晶硅生产成本的几个途径
附录
参考文献