扫描电镜与显微分析的原理、技术及进展

本书系统阐述了当代扫描电镜与显微分析的原理、技术及进展。全书共16章:前13章着重介绍扫描电镜;后3章介绍显微分析，包括能谱和电子背散射衍射技术。在扫描电镜的基础知识中，第1章到第10章介绍了成像、电镜结构、电子光学、信号的产生和接收、村度和成像假象的原理和技术等:第11章到第13章介绍扫描电镜的综合应用，介绍了高分、低电压成像和更具体的操作和制样建议，以指导操作和实践。

本书以实用和实践为目的，结合材料学科的特点，将理论和技术结合，同时突出近些年来出现和应用的新技术，如低加速电压、浸没式物镜、硅漂移探测器等。

作者既希望内容由浅入深，又希望论述深入浅出，力图呈现当代扫描电镜的概貌，让读者领会技术在原理上的实现，感悟原理在技术上的表达。

 本书适合材料学科及相关研究领域的本科生、研究生、科研人员和测试人员参考和阅读。

高 尚 男，哈尔滨工业大学（深圳）材料学院高级实验师。具有丰富的电子显微分析与先进表征技术的研究、实践和教学经验。参与国家和省市级科研项目10余项，发表先进表征学术论文近20篇，获授权电镜相关发明专利3项，主持电镜教改项目3项。

杨振英 男，深圳市美信检测技术股份有限公司总经理，高级工程师，国际焊接工程师，中国机械工程学会高级会员，中国机械工程学会失效分析分会第六届委员会常务委员。

马 清 男，清华大学材料学博士后。哈尔滨工业大学（深圳）实验与创新实践教育中心实验师、副研究员。主持国家和省市级科研项目10余项、电镜教改项目2项，发表SCI/EI论文40余篇，申请国外发明专利5项。

黄梦诗 女，哈尔滨工业大学（深圳）材料学院助理实验师。发表实验技术论文多篇，授权发明和实用新型专利3项，承担教改项目3项。