面向集成电路装备的静电卡盘静电力测量

本书是国家科技02重大专项相关课题研究成果。在集成电路制造装备中，静电卡盘作为固定晶圆与控温的核心部件，其静电力的精确测量是确保工艺稳定性和提高芯片良率的关键。本书围绕静电卡盘静电力测量问题，系统构建了涵盖宏观工程应用和微观机理探究的理论与方法体系，从测量原理创新、实验平台研制、仿真方法验证、统一理论框架建立、参数敏感性分析、微纳尺度测量技术运用等方面开展了深入研究。全书融合理论建模、实验测量与数值仿真，为静电卡盘的性能评估和优化设计提供了重要科学依据，部分成果已应用于实际产线，可供集成电路装备及微纳制造领域研发人员参考。

本书是国家科技02重大专项相关课题研究成果。在集成电路制造装备中，静电卡盘作为固定晶圆与控温的核心部件，其静电力的精确测量是确保工艺稳定性和提高芯片良率的关键。本书围绕静电卡盘静电力测量问题，系统构建了涵盖宏观工程应用和微观机理探究的理论与方法体系，从测量原理创新、实验平台研制、仿真方法验证、统一理论框架建立、参数敏感性分析、微纳尺度测量技术运用等方面开展了深入研究。全书融合理论建模、实验测量与数值仿真，为静电卡盘的性能评估和优化设计提供了重要科学依据，部分成果已应用于实际产线，可供集成电路装备及微纳制造领域研发人员参考。

王珂晟，山东华宇工学院教授、高级工程师，硕士生导师。清华大学工学博士，英国伦敦布鲁内尔大学访问学者。研究领域为集成电路制造装备，担任中国机械工程学会半导体装备分会第一届委员会委员。主持省部级以上项目两项、市厅级项目三项，参与完成国家科技02重大专项等国家级项目四项。第一作者发表论文二十余篇，其中SCI收录四篇。获授权专利一百四十余项，其中发明专利六十余项。参与制定国家标准一部、行业标准两部、地方标准一部。参编图书三部，其中《第三代半导体产业人才发展指南》入选“十四五”国家重点出版物，连续四年担任工业和信息化部《中国集成电路产业人才白皮书》编撰人。获省部级科技成果二等奖一项、市厅级科技成果一等奖两项

绪论
第一章  基于牵引提拉法的静电卡盘静电力测量平台
第二章  基于气体背吹法的静电卡盘静电力测量平台
第三章  断电后的静电卡盘残余静电力演变规律理论预测与实验测量
第四章  静电卡盘主要参数对静电力的影响
第五章  静电卡盘静电力仿真分析
第六章  基于AFM相位差分析的微观静电力测量
第七章  基于AFM振幅分析的微观静电力测量
第八章  结论与展望